三氟化氮在常溫下是一種無色、無臭、性質(zhì)穩(wěn)定的氣體，是一種強氧化劑。三氟化氮在微電子工業(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，在離子蝕刻時裂解為活性氟離子，這些氟離子對硅和鎢化合物，高純?nèi)哂袃?yōu)異的蝕刻速率和選擇性（對氧化硅和硅），它在蝕刻時，在蝕刻物表面不留任何殘留物，是非常良好的清洗劑，同時在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運用。

儲存及運輸

三氟化氮氣瓶應儲存于陰涼、通風倉庫內(nèi)。三氟化氮氣瓶應遠離火種、熱源、防止陽光直射，與還原劑、易燃或可燃物等分開存放。

三氟化氮氣瓶在搬運時要輕裝、輕卸，防止鋼瓶及附件破損。

三氟化氮氣瓶的運輸按危險品運輸。運輸時用氣瓶固定架將三氟化氮氣瓶固定好，用汽車公路運輸或用輪船集裝箱運輸。

泄漏應急處理

如遇有三氟化氮氣體泄露，工作人員要馬上撤離泄漏污染區(qū)，并盡可能采取措施阻止三氟化氮氣體的進一步泄露。如有工作人員中毒，應立即送往醫(yī)院救治。

泄露現(xiàn)場要盡快處理，處理泄露現(xiàn)場的工作人員必須配戴必要的防毒面具，最好是自給正壓式呼吸器。泄露現(xiàn)場經(jīng)檢測無危害氣體后方可進入工作人員，泄露容器必須經(jīng)仔細檢查、維修或妥善處理好后方可繼續(xù)使用。

三氟化氮氣體產(chǎn)品質(zhì)量標準（QJ58-2007）

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